感應熔煉(lian) 的步驟有(you)用前檢查(chá)單晶爐、試(shi)用單晶爐(lú)、單晶爐正(zhèng)式工作、熔(róng)煉産品抽(chou)檢、調整測(cè)試、使用單(dan)晶爐完成(chéng)後安全斷(duan)電，這些步(bù)驟都不可(kě)以省略。
    在(zai)感應熔煉(lian)之前應當(dang)檢查好設(she)備，看看有(you)沒有明顯(xiǎn)損壞的零(líng)部件，然後(hòu)根據說明(míng)書的要求(qiu)來操作試(shi)用，如果經(jīng)過試用工(gōng)作正常，就(jiù)可以開始(shǐ)正式生産(chǎn)了，但是生(sheng)産的過程(cheng)中也要不(bú)斷地檢查(cha)下産品，看(kan)産品的某(mǒu)些指标是(shi)否達标，産(chan)品質量是(shì)否合格，如(rú)果指标不(bu)達标、質量(liàng)不合格就(jiù)要調整下(xia)機器，直到(dào)熔煉的産(chǎn)品的品質(zhì)達到要求(qiu)爲止。

    常(cháng)見的單晶(jīng)爐故障有(you)晶棒晃動(dong)，單晶爐晶(jing)棒晃動機(jī)器仍然可(kě)以正常運(yun)轉，但是生(sheng)産效率低(di)，感應熔煉(liàn)的産品質(zhi)量差所以(yǐ)爲了提高(gāo)感應熔煉(liàn)的效率和(he)質量，不能(néng)盲目的熔(róng)煉，一定要(yao)對單晶爐(lu)進行檢查(cha)。晶棒晃動(dong)要檢查一(yī)下提拉頭(tóu)、冷卻系統(tǒng)和真空系(xi)統。如果是(shì)提拉頭出(chu)現問題，就(jiu)要維修調(diào)整下減速(sù)機構或旋(xuán)轉機構。如(ru)果是冷卻(que)系統和真(zhen)空系統出(chu)現問題，需(xu)要調整一(yi)下矽料和(he)重錘結構(gou)。如果檢查(chá)這些地方(fāng)沒有問題(tí)，看一下氩(ya)氣等惰性(xìng)氣體是否(fǒu)在爐内流(liú)動，氩氣在(zai)爐内流動(dòng)的話，就需(xū)要改裝一(yī)下單晶爐(lú)了，保證單(dān)晶爐熱場(chǎng)分布均勻(yún)。
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