首先在單(dan)晶爐作業前，要做(zuo)好準備工作，然後(hou)開始進行熱态檢(jian)漏，檢漏的要求在(zài)3分鍾以上，同時要(yào)做好記錄。接下來(lai)将單晶和籽晶取(qǔ)出，冷卻後要對單(dan)晶進行參數檢測(cè)，同樣需要做好記(jì)錄。接着将石墨件(jian)取出做好冷卻工(gōng)作，之後要對進行(háng)重量檢測并做記(ji)錄。然後在通過真(zhēn)空過濾器來進行(háng)清洗，真空泵油的(de)檢查更換。完成以(yǐ)上步驟，就要開始(shi)對石墨，單晶爐的(de)室内進行清洗了(le)，知道确認沒有污(wu)物爲止。接下來就(jiù)是對石墨的，石英(yīng)坩埚，籽晶進行安(an)裝，然後進行抽空(kōng)繼續檢漏。最後引(yǐn)晶，縮頸，放肩，轉肩(jian)，然後等徑生長。最(zui)後單晶爐 就進入(rù)收尾工作了。