真空(kong)爐系統(tǒng)中的油(yóu)擴散泵(beng)是靠高(gao)速蒸汽(qi)射流來(lai)攜帶氣(qì)體以達(dá)到抽氣(qì)的目的(de)，它工作(zuo)在高真(zhen)空區域(yù)，其工作(zuo)壓強範(fàn)圍爲10-2～10-6pa。油(yóu)蒸汽從(cong)傘形噴(pen)咀(如I級(ji)噴咀)以(yi)超音速(su)噴出後(hòu)，其速度(du)逐漸增(zēng)大，壓力(li)及密度(dù)逐漸降(jiàng)低。

    1．概述(shu) 油擴散(sàn)泵的工(gong)作原理(li)與水蒸(zheng)汽噴射(she)泵相似(sì)，都是靠(kao)高速蒸(zhēng)汽射流(liú)來攜帶(dài)氣體以(yi)達到抽(chōu)氣的目(mù)的，故有(you)如水蒸(zheng)汽噴射(she)泵相似(sì)的特點(diǎn)。不同點(dian)是擴散(san)泵工作(zuo)在高真(zhen)空區域(yù)，其工作(zuo)壓強範(fan)圍爲10-2～10-6pa。廣(guang)泛用于(yú)電子、化(hua)工、冶金(jin)、機械、石(shi)油及原(yuán)子能等(deng)工業部(bù)門中。

    2．油(yóu)擴散泵(bèng)的工作(zuo)原理與(yu)結構

    當(dāng)油蒸汽(qì)從傘形(xíng)噴咀(如(ru)I級噴咀(ju))以超音(yīn)速噴出(chu)後，其速(su)度逐漸(jian)增大，壓(yā)力及密(mì)度逐漸(jiàn)降低，射(shè)流上邊(biān)的被抽(chōu)氣體A因(yīn)密度差(chà)要向蒸(zheng)汽射流(liú)中擴散(san)并被射(she)流攜帶(dài)到水冷(lěng)的泵壁(bì)處B，在B處(chu)，工作蒸(zhēng)汽大部(bù)分被冷(leng)凝成油(yóu)滴沿泵(beng)壁流回(hui)到油鍋(guo)中循環(huan)使用，而(ér)被抽氣(qì)體在B處(chù)堆積、壓(ya)縮，最後(hou)被下級(jí)射流攜(xié)帶走，以(yǐ)達到逐(zhu)級壓縮(suo)，最後被(bèi)前級泵(beng)抽走。