高(gao)溫真空爐(lú)在現代工(gōng)業中應用(yong)于很多場(chang)合,如藍寶(bao)石晶體生(sheng)長爐、高溫(wēn)燒結爐等(děng)。藍寶石晶(jīng)體生長爐(lú)通過對溫(wēn)度的精确(què)控制來實(shi)現從晶體(ti)化料、引晶(jing)(或将籽晶(jing)熔化到合(hé)适的範圍(wei))、長晶、退貨(huò)冷卻的各(gè)個過程控(kong)制,晶體隻(zhī)有按合适(shì)的冷卻速(sù)度進行冷(leng)卻結晶,才(cai)能長出高(gāo)質量的藍(lan)寶石晶體(tǐ)。高溫燒結(jié)爐要通過(guo)對溫度的(de)較爲準确(què)的控制,才(cai)能燒結出(chu)高質量的(de)、穩定的燒(shao)結産品。因(yīn)此,高溫真(zhēn)空爐的爐(lú)溫測量、監(jian)控是控制(zhì)産品質量(liang)的重要手(shou)段。而在自(zi)動化生産(chǎn)的情況下(xia),且溫度的(de)控制精确(què)度要求較(jiào)高時,則要(yào)求能對溫(wēn)度進行長(zhang)時間連續(xu)準确的測(cè)量,以實現(xian)對溫度的(de)實時控制(zhì)。高溫真空(kong)環境下的(de)長時間連(lián)續準确測(cè)量,是一個(gè)行業難題(tí),目前爲止(zhi)還沒有發(fā)現這方面(mian)的實際應(ying)用。
以藍寶(bǎo)石晶體生(shēng)長爐爲例(lì),藍寶石晶(jing)體生長爐(lu)是一種用(yong)于藍寶石(shí)單晶生長(zhǎng)的常用設(she)備,通常包(bao)括坩埚、加(jiā)熱器、金屬(shu)保溫瓶等(děng),加熱器通(tong)電以後,将(jiang)在坩埚外(wai)部形成溫(wēn)度場,溫度(du)場對坩埚(guo)進行加熱(re)。泡生法藍(lán)寶石單晶(jing)聲場中,加(jiā)熱溫度的(de)變化對晶(jing)體的生長(zhǎng)影響很大(dà),合适的引(yǐn)晶溫度、合(hé)理的降溫(wēn)控制程序(xu)都有利于(yú)提高晶體(tǐ)生長質量(liang),晶體生長(zhǎng)速率會随(sui)加熱溫度(dù)的降低而(er)快速增加(jiā)。制定适合(hé)晶體生長(zhǎng)的降溫程(cheng)序,沒有一(yī)定的溫度(du)測量技術(shu)做參考,晶(jing)體品質很(hen)難保證。因(yīn)此,一般采(cai)用紅外測(ce)量技術做(zuo)參考,晶體(ti)品質很難(nán)保證。因此(ci),一般采用(yòng)紅外測溫(wēn)儀測量坩(gān)埚的溫度(dù),以獲得較(jiào)爲準确的(de)測量溫度(dù)值。但是,在(zài)藍寶石單(dan)晶生長過(guo)程中,藍寶(bao)石單晶爐(lu)的溫度較(jiao)高,;安保室(shi)晶體以及(ji)熱場的金(jin)屬揮發物(wù)容易凝結(jié)在溫度較(jiào)低的測溫(wen)玻璃表面(miàn),遮擋紅外(wài)測溫儀有(you)效測量用(yong)光波,使紅(hóng)外測溫儀(yi)讀數失真(zhēn)。爲提高溫(wēn)度測量的(de)準确性,目(mu)前通常采(cai)用少量惰(duo)性氣體吹(chuī)掃測溫玻(bo)璃法。