單晶爐(lú)在運作(zuo)過程中(zhong)因爲一(yi)直都會(huì)處于高(gāo)溫的狀(zhuàng)态下，對(dui)其他的(de)零部件(jiàn)要求高(gao)且嚴格(gé)，因爲需(xu)要維持(chí)長時間(jiān)的工作(zuò)，所以需(xu)要特别(bié)注意定(ding)期進行(hang)必要的(de)維護保(bao)養。

1、坩埚(guo)驅動裝(zhuang)置要求(qiú)的運動(dong)精度比(bi)較高，是(shì)設備的(de)核心運(yun)動部件(jian)，應重點(dian)維護。坩(gān)埚軸是(shi)石墨坩(gan)埚的支(zhī)撐軸，應(yīng)随時檢(jiǎn)查其冷(lěng)卻水的(de)情況，以(yǐ)免燒損(sǔn)。

坩埚驅(qu)動采用(yòng)滾珠絲(sī)杠和直(zhi)線導軌(guǐ)結構，是(shì)坩埚驅(qu)動的關(guān)鍵部件(jiàn)，需保持(chi)清潔，嚴(yan)禁灰塵(chen)、雜物附(fu)着，并定(ding)期塗抹(mo)潤滑脂(zhi)。

2、籽晶旋(xuan)轉及提(tí)升機構(gou)的維修(xiu)

籽晶旋(xuan)轉及提(tí)升機構(gou)也是單(dan)晶爐的(de)關鍵部(bu)件，該部(bù)件運行(hang)的好壞(huai)直接影(yǐng)響單晶(jing)的生長(zhang)。因此，也(ye)須重點(dian)維護。

卷(juàn)輪箱是(shì)籽晶提(ti)升的核(hé)心，卷輪(lún)箱内的(de)零件一(yi)般情況(kuàng)下不得(de)随意拆(chāi)除，必須(xu)拆除時(shí)，重新安(an)裝時必(bì)須保證(zheng)軟軸對(dui)中。軟軸(zhou)鋼絲繩(sheng)在使用(yong)中不準(zhun)有死彎(wān)現象，并(bìng)在每次(cì)開爐時(shí)檢查鋼(gāng)絲繩是(shì)否燒損(sǔn)，如有燒(shāo)損應及(jí)時修整(zhěng)或更換(huan)新的鋼(gāng)絲繩。

除(chú)了上面(miàn)的兩點(dian)之外，在(zai)每次開(kai)爐前應(yīng)檢查水(shuǐ)路系統(tǒng)是否暢(chang)通，水溫(wēn)檢測傳(chuán)感器安(ān)裝是否(fou)正常。發(fa)現有結(jie)垢時應(ying)及時清(qīng)理。在拉(lā)晶過程(cheng)中，若發(fā)現水壓(ya)報警或(huò)漏水時(shí)要及時(shí)采取措(cuò)施。真空(kong)管道的(de)過濾網(wǎng)每爐要(yào)清理一(yi)次，抽氣(qì)管道每(měi)20～30爐清理(lǐ)一次。

編(biān)輯GYN