現有加(jia)熱電源(yuan)存在的(de)問題：

    盡(jìn)管我國(guó)晶體生(sheng)長設備(bèi)的自動(dòng)化程度(dù)有了很(hěn)大提高(gāo)，但是在(zài)常規的(de)直拉法(fǎ)溫度控(kòng)制環節(jie)的設計(ji)上還存(cún)在以下(xià)問題：

    (1)加(jiā)熱電源(yuán)的智能(néng)化程度(dù)不高。純(chún)模拟電(diàn)路構成(cheng)，單閉環(huán)控制，自(zi)動化程(cheng)度偏低(di)，功率的(de)調節常(chang)滞後于(yú)系統對(duì)溫度的(de)實際要(yao)求。

    (2)溫度(dù)需要手(shǒu)動調節(jiē)。該設備(bei)在運行(hang)過程當(dāng)中不能(neng)完全做(zuo)到無人(ren)值守，對(duì)于引徑(jìng)、放肩及(jí)熔料過(guò)程的溫(wēn)度控制(zhi)還需要(yao)工作人(rén)員通過(guò)電源櫃(gui)的旋鈕(niu)手動調(diao)節輸出(chū)值，等徑(jing)生長過(guò)程的實(shi)際控溫(wēn)精度與(yǔ)理論值(zhí)也有差(cha)距，參數(shù)的設置(zhì)、調節和(he)記錄均(jun)需要值(zhi)守人員(yuán)參與完(wán)成。

    單晶(jing)爐改進(jìn)方案：

    裝(zhuāng)置采用(yong)模塊化(huà)設計，微(wei)機控制(zhì)，内置自(zì)适應能(neng)力較強(qiáng)的模糊(hú)PID控制算(suan)法，具有(yǒu)控制參(cān)數自動(dong)調節、顯(xian)示，可通(tong)過按鍵(jiàn)設定初(chu)值，系統(tong)異常可(kě)自動聲(sheng)光告警(jǐng)等新功(gōng)能，即從(cóng)整體上(shàng)提高溫(wēn)控系統(tǒng)的智能(néng)化程度(dù)和控制(zhì)精度，加(jiā)快參數(shù)調節的(de)響應速(su)度，使整(zheng)個生産(chǎn)過程中(zhong)爐溫的(de)變化能(néng)快速平(píng)滑地跟(gēn)随工藝(yì)曲線變(bian)化，裝置(zhi)通用性(xìng)強，操作(zuò)上更加(jiā)簡單、可(ke)靠。

    單晶(jīng)爐 主要(yào)技術指(zhi)标：

    單晶(jing)爐加熱(re)電源是(shì)一種大(dà)功率直(zhi)流電源(yuan)，要求輸(shū)出功率(lǜ)lOOkW，輸出電(diàn)壓爲0-5V可(kě)調，輸出(chū)電流爲(wei)0-3000A；其輸出(chū)的能量(liang)可直接(jiē)爲單晶(jing)爐内的(de)石墨加(jia)熱器供(gong)熱，加熱(re)溫度範(fàn)圍爲o～2000℃，控(kòng)溫精度(du)要求達(dá)到±5℃；各種(zhong)信号可(ke)自動檢(jian)測、顯示(shi)，參數的(de)修改和(hé)設定可(ke)通過按(an)鍵進行(háng)，以此來(lai)滿足單(dan)晶矽在(zài)生長階(jiē)段對溫(wēn)度的嚴(yán)格要求(qiu)。