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單晶爐(lú)長晶原理(lǐ)是什麽

[2014/4/10]

     在(zai) 單晶爐 中(zhōng)可以進行(háng)一些操作(zuo),如果把高(gao)純度的多(duo)晶矽原料(liào)放在高純(chun)度的石英(ying)坩埚中,通(tōng)過加熱器(qì)的作用,就(jiù)會産生高(gāo)溫,這樣就(jiù)會把它熔(róng)化。如果對(dui)熔化的矽(xi)液進行降(jiang)溫處理,就(jiù)會産生一(yi)定程度的(de)過冷度,然(ran)後再使用(yòng)一個矽單(dān)晶體插在(zai)熔體的表(biao)面,需要使(shǐ)用固定在(zài)籽晶軸上(shàng)的矽單晶(jīng)體。可以等(děng)這籽晶可(ke)以和熔體(tǐ)相融合之(zhī)後,然後慢(man)慢的往上(shang)拉動籽晶(jing)。然後晶體(ti)就會在慢(màn)慢的生長(zhǎng),可以生長(zhǎng)成爲直徑(jìng)3至5毫米的(de)細頸。

 

    這個(ge)細頸可以(yǐ)消除高溫(wēn)溶液産生(sheng)的強烈的(de)沖擊作用(yong),這樣就會(huì)形成一個(gè)錯位,這個(gè)過程就是(shì)引晶。然後(hou)可以把晶(jing)體的直徑(jìng)放大,将其(qí)放大到工(gōng)藝所要求(qiú)的大小就(jiu)可以,一般(bān)來說,這個(gè)長度是75至(zhi)300毫米,專業(yè)術語則可(ke)以把它稱(chēng)爲放肩。如(rú)果突然将(jiang)拉速提高(gao)的話,使肩(jian)部形成一(yi)個直角。然(rán)後單晶爐(lú)就會進入(rù)等徑工藝(yì),通過對熱(re)場溫度和(hé)晶體來提(ti)升下速度(du),這樣就會(hui)生成一定(ding)大小的單(dān)晶柱體。
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